Handbook of silicon wafer cleaning technology
tarafından
 
Reinhardt, Karen A.

Başlık
: 
Handbook of silicon wafer cleaning technology

Yazar
: 
Reinhardt, Karen A.

ISBN
: 
9780815517733
 
9780815515548
 
9780815517719

Basım Bilgisi
: 
2nd ed.

Yayın Bilgileri
: 
Norwich, NY : William Andrew, c2008.

Fiziksel Tanımlama
: 
1 online resource (xxvi, 718 p.) : ill.

Seri
: 
Materials science & process technology series

Seri Başlığı
: 
Materials science & process technology series

Konu Terimleri
: 
Silicon-on-insulator technology.

Yazar Ek Girişi
: 
Reinhardt, Karen A.
 
Kern, Werner, 1925-

Elektronik Erişim
: 
ScienceDirect http://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515548


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap145649-2001ONLINEElektronik Kütüphane