Plasma processing of semiconductors
tarafından
 
Williams, P. Frazer, ed.

Başlık
: 
Plasma processing of semiconductors

Yazar
: 
Williams, P. Frazer, ed.

ISBN
: 
9780792345671

Yayın Bilgileri
: 
Dordrecht : Kluwer Academic, 1997.

Fiziksel Tanımlama
: 
x, 613 s.

Seri
: 
NATO ASI Series. Series E : Applied Sciences - vol. 336

Seri Başlığı
: 
NATO ASI Series. Series E : Applied Sciences - vol. 336

Genel Not
: 
"Proocedings of the NATO Advanced Study Institute on Plasma... Chateau de Bonas, France, 17-28 June, 1996"

Konu Terimleri
: 
PLAZMA MÜHENDİSLİĞİ.
 
YARIİLETKENLER -- EKIYILAMA.

Yazar Ek Girişi
: 
Williams, P. Frazer, ed.


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Beytepe KütüphanesiKitap7.2/12/591797TA 2020 P532 1997Beytepe Genel Koleksiyon
Beytepe KütüphanesiKitap7.2/12/591798TA 2020 P532 1997Beytepe Genel Koleksiyon