Handbook of VLSI microlithography principles, technology, and applications
tarafından
Helbert, John N.
Başlık
:
Handbook of VLSI microlithography principles, technology, and applications
Yazar
:
Helbert, John N.
ISBN
:
9781591242758
9780815514442
9780815517795
Basım Bilgisi
:
2nd ed.
Yayın Bilgileri
:
Park Ridge, N.J. : Noyes Publications ; Norwich, N.Y. : William Andrew Pub., c2001.
Fiziksel Tanımlama
:
1 online resource (xxi, 1001 p.) : ill.
Seri
:
Materials science and process technology series. Electronic materials and process technology
Seri Başlığı
:
Materials science and process technology series. Electronic materials and process technology
Konu Terimleri
:
Integrated circuits -- Very large scale integration.
Microlithography.
Tür
:
Electronic books.
Yazar Ek Girişi
:
Helbert, John N.
Elektronik Erişim
:
| Kütüphane | Materyal Türü | Demirbaş Numarası | Yer Numarası | [[missing key: search.ChildField.HOLDING]] | Durumu/İade Tarihi |
|---|
| Çevrimiçi Kütüphane | E-Kitap | 254148-1001 | ONLINE | | Elektronik Kütüphane |