Handbook of VLSI microlithography principles, technology, and applications
tarafından
 
Helbert, John N.

Başlık
Handbook of VLSI microlithography principles, technology, and applications

Yazar
Helbert, John N.

ISBN
9781591242758
 
9780815514442
 
9780815517795

Basım Bilgisi
2nd ed.

Yayın Bilgileri
Park Ridge, N.J. : Noyes Publications ; Norwich, N.Y. : William Andrew Pub., c2001.

Fiziksel Tanımlama
1 online resource (xxi, 1001 p.) : ill.

Seri
Materials science and process technology series. Electronic materials and process technology

Seri Başlığı
Materials science and process technology series. Electronic materials and process technology

Konu Terimleri
Integrated circuits -- Very large scale integration.
 
Microlithography.

Tür
Electronic books.

Yazar Ek Girişi
Helbert, John N.

Elektronik Erişim
ScienceDirect http://www.sciencedirect.com/science/book/9780815514442


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap254148-1001ONLINEElektronik Kütüphane