Interlayer dielectrics for semiconductor technologies
tarafından
 
Murarka, S. P.

Başlık
: 
Interlayer dielectrics for semiconductor technologies

Yazar
: 
Murarka, S. P.

ISBN
: 
9780125112215
 
9780080521954

Yayın Bilgileri
: 
Amsterdam ; Boston : Elsevier/Academic Press, 2003.

Fiziksel Tanımlama
: 
1 online resource (xiv, 444 p.) : ill.

Konu Terimleri
: 
Semiconductor wafers.
 
Dielectrics.

Yazar Ek Girişi
: 
Murarka, S. P.
 
Eizenberg, M. (Moshe)
 
Sinha, A. K. (Ashok K.)

Elektronik Erişim
: 
ScienceDirect http://www.sciencedirect.com/science/book/9780125112215


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap254286-1001ONLINEElektronik Kütüphane