Handbook of VLSI microlithography principles, technology, and applications
tarafından
 
Glendinning, William B.

Başlık
: 
Handbook of VLSI microlithography principles, technology, and applications

Yazar
: 
Glendinning, William B.

ISBN
: 
9780815512813
 
9781437728224

Yayın Bilgileri
: 
Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications, ©1991.

Fiziksel Tanımlama
: 
1 online resource (xxii, 649 pages) : illustrations.

Seri
: 
Materials science and process technology series

Seri Başlığı
: 
Materials science and process technology series

Konu Terimleri
: 
Integrated circuits -- Very large scale integration.
 
Microlithography.
 
Lithographie (Halbleitertechnologie)
 
Photolithographie (Halbleitertechnologie)
 
VLSI.

Yazar Ek Girişi
: 
Glendinning, William B.
 
Helbert, John N.

Elektronik Erişim
: 
ScienceDirect http://www.sciencedirect.com/science/book/9780815512813


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap254921-1001ONLINEElektronik Kütüphane