Electron-beam technology in microelectronic fabrication
tarafından
 
Brewer, George Raymond, 1922-

Başlık
: 
Electron-beam technology in microelectronic fabrication

Yazar
: 
Brewer, George Raymond, 1922-

ISBN
: 
9780121335502
 
9780323153416

Yayın Bilgileri
: 
New York : Academic Press, 1980.

Fiziksel Tanımlama
: 
1 online resource (xi, 362 pages) : illustrations

Konu Terimleri
: 
Microelectronics.
 
Lithography, Electron beam.
 
Elektronenstrahllithographie.
 
Mikroelektronik.

Yazar Ek Girişi
: 
Brewer, George Raymond, 1922-
 
Ballantyne, J. P.

Elektronik Erişim
: 
ScienceDirect http://www.sciencedirect.com/science/book/9780121335502


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap254924-1001ONLINEElektronik Kütüphane