Plasma etching an introduction
tarafından
 
Manos, Dennis M.

Başlık
: 
Plasma etching an introduction

Yazar
: 
Manos, Dennis M.

ISBN
: 
9780080924465

Yayın Bilgileri
: 
Boston : Academic Press, c1989.

Fiziksel Tanımlama
: 
1 online resource (xii, 476 p.) : ill.

Seri
: 
Plasma -- materials interactions

Seri Başlığı
: 
Plasma -- materials interactions

Konu Terimleri
: 
Plasma etching.

Yazar Ek Girişi
: 
Manos, Dennis M.
 
Flamm, Daniel L.

Elektronik Erişim
: 
ScienceDirect http://www.sciencedirect.com/science/book/9780124693708


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap255208-1001ONLINEElektronik Kütüphane