Fine line lithography
tarafından
 
Newman, Roger.

Başlık
: 
Fine line lithography

Yazar
: 
Newman, Roger.

ISBN
: 
9780444853516
 
9780444601285
 
9781299537200

Yayın Bilgileri
: 
Amsterdam ; New York : North-Holland Pub. Co. ; New York : Sole distributor for the USA and Canada, Elsevier North-Holland, 1980.

Fiziksel Tanımlama
: 
1 online resource (vii, 481 pages).

Seri
: 
Materials processing, theory and practices ; v. 1

Seri Başlığı
: 
Materials processing, theory and practices ; v. 1

Konu Terimleri
: 
Integrated circuits -- Large scale integration.
 
Lithography.
 
Integrierte Schaltung.
 
Photolithographie (Halbleitertechnologie)

Tür
: 
Electronic books.

Yazar Ek Girişi
: 
Newman, Roger.

Elektronik Erişim
: 
ScienceDirect http://www.sciencedirect.com/science/book/9780444853516


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap256117-1001ONLINEElektronik Kütüphane