PVD for microelectronics sputter deposition applied to semiconductor manufacturing
tarafından
 
Powell, Ronald A.

Başlık
: 
PVD for microelectronics sputter deposition applied to semiconductor manufacturing

Yazar
: 
Powell, Ronald A.

ISBN
: 
9780125330268

Yayın Bilgileri
: 
San Diego : Academic Press, c1999.

Fiziksel Tanımlama
: 
1 online resource (xiii, 419 p.) : ill.

Seri
: 
Thin films ; v. 26

Seri Başlığı
: 
Thin films ; v. 26

Konu Terimleri
: 
Thin film devices -- Design and construction.
 
Vapor-plating.
 
Thin films.

Yazar Ek Girişi
: 
Rossnagel, Stephen M.

Elektronik Erişim
: 
ScienceDirect http://www.sciencedirect.com/science/book/9780125330268


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap256315-1001ONLINEElektronik Kütüphane