Modeling of film deposition for microelectronic applications
tarafından
 
Rossnagel, Stephen M.

Başlık
: 
Modeling of film deposition for microelectronic applications

Yazar
: 
Rossnagel, Stephen M.

ISBN
: 
9780125330220

Yayın Bilgileri
: 
San Diego : Academic Press, c1996.

Fiziksel Tanımlama
: 
1 online resource (xiv, 291 p.) : ill.

Seri
: 
Thin films ; v. 22

Seri Başlığı
: 
Thin films ; v. 22

Konu Terimleri
: 
Thin films -- Computer simulation -- Congresses.

Yazar Ek Girişi
: 
Rossnagel, Stephen M.

Elektronik Erişim
: 
ScienceDirect http://www.sciencedirect.com/science/book/9780125330220


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap256322-1001ONLINEElektronik Kütüphane