Computational lithography
tarafından
Ma, Xu, 1983-
Başlık
:
Computational lithography
Yazar
:
Ma, Xu, 1983-
ISBN
:
9780470618943
9780470618936
9780470596975
9781118043578
Yayın Bilgileri
:
Hoboken, N.J. : Wiley, c2010.
Fiziksel Tanımlama
:
1 online resource (xv, 226 p.) : ill.
Seri
:
Wiley series in pure and applied optics
Seri Başlığı
:
Wiley series in pure and applied optics
Konu Terimleri
:
Microlithography -- Mathematics.
Integrated circuits -- Design and construction -- Mathematics.
Photolithography -- Mathematics.
Semiconductors -- Etching -- Mathematics.
Resolution (Optics)
Tür
:
Electronic books.
Yazar Ek Girişi
:
Arce, Gonzalo R.
Tüzel Kişi Ek Girişi
:
Wiley InterScience (Online service)
Elektronik Erişim
:
| Kütüphane | Materyal Türü | Demirbaş Numarası | Yer Numarası | [[missing key: search.ChildField.HOLDING]] | Durumu/İade Tarihi |
|---|
| Çevrimiçi Kütüphane | E-Kitap | 298011-1001 | ONLINE | | Elektronik Kütüphane |