Ätzverfahren für die Mikrotechnik
tarafından
Köhler, J. M. (J. Michael), 1956-
Başlık
:
Ätzverfahren für die Mikrotechnik
Yazar
:
Köhler, J. M. (J. Michael), 1956-
ISBN
:
9783527288694
9783527602919
Yayın Bilgileri
:
Weinheim : Wiley-VCH, c1998.
Fiziksel Tanımlama
:
1 online resource (xvi, 398 p.) : ill.
Konu Terimleri
:
Masks (Electronics)
Microlithography.
Plasma etching.
Tüzel Kişi Ek Girişi
:
John Wiley & Sons.
Elektronik Erişim
:
| Kütüphane | Materyal Türü | Demirbaş Numarası | Yer Numarası | [[missing key: search.ChildField.HOLDING]] | Durumu/İade Tarihi |
|---|
| Çevrimiçi Kütüphane | E-Kitap | 300533-1001 | ONLINE | | Elektronik Kütüphane |