Etching in microsystem technology
tarafından
 
Köhler, J. M. (J. Michael), 1956-

Başlık
: 
Etching in microsystem technology

Yazar
: 
Köhler, J. M. (J. Michael), 1956-

ISBN
: 
9783527613786

Tek Biçim Başlık
: 
Ätzverfahren für die Mikrotechnik. English

Yayın Bilgileri
: 
Weinheim ; New York : Wiley-VCH, c1999.

Fiziksel Tanımlama
: 
xvi, 368 p. : ill. ; 25 cm.

Konu Terimleri
: 
Masks (Electronics)
 
Microlithography.
 
Plasma etching.

Tüzel Kişi Ek Girişi
: 
Wiley InterScience (Online service)

Elektronik Erişim
: 
John Wiley http://dx.doi.org/10.1002/9783527613786


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap300698-1001ONLINEElektronik Kütüphane