Chemical mechanical planarization of microelectronic materials
tarafından
 
Steigerwald, Joseph M.

Başlık
: 
Chemical mechanical planarization of microelectronic materials

Yazar
: 
Steigerwald, Joseph M.

ISBN
: 
9783527617746

Yayın Bilgileri
: 
New York : J. Wiley, c1997.

Fiziksel Tanımlama
: 
xiii, 324 p. : ill. ; 24 cm.

Konu Terimleri
: 
Microelectronics -- Materials.
 
Grinding and polishing.
 
Chemical mechanical planarization.

Yazar Ek Girişi
: 
Murarka, S. P.
 
Gutmann, Ronald J.

Tüzel Kişi Ek Girişi
: 
Wiley InterScience (Online service)

Elektronik Erişim
: 
John Wiley http://dx.doi.org/10.1002/9783527617746
 
Contributor biographical information http://catdir.loc.gov/catdir/bios/wiley041/96006198.html


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap300816-1001ONLINEElektronik Kütüphane