Principles of plasma discharges and materials processing
tarafından
Lieberman, M. A. (Michael A.)
Başlık
:
Principles of plasma discharges and materials processing
Yazar
:
Lieberman, M. A. (Michael A.)
ISBN
:
9780471724247
9780471720010
9780471724254
Basım Bilgisi
:
2nd ed.
Yayın Bilgileri
:
Hoboken, N.J. : Wiley-Interscience, c2005.
Fiziksel Tanımlama
:
1 online resource (xxxv, 757 p.) : ill.
Konu Terimleri
:
Plasma dynamics.
Thin films -- Surfaces.
Plasma etching.
Plasma chemistry -- Industrial applications.
Tür
:
Electronic books.
Yazar Ek Girişi
:
Lichtenberg, Allan J.
Elektronik Erişim
:
| Kütüphane | Materyal Türü | Demirbaş Numarası | Yer Numarası | [[missing key: search.ChildField.HOLDING]] | Durumu/İade Tarihi |
|---|
| Çevrimiçi Kütüphane | E-Kitap | 301733-1001 | ONLINE | | Elektronik Kütüphane |