Enabling technology for MEMS and nanodevices
tarafından
Baltes, H. (Henry)
Başlık
:
Enabling technology for MEMS and nanodevices
Yazar
:
Baltes, H. (Henry)
ISBN
:
9783527616701
9783527616923
Yayın Bilgileri
:
Weinheim [Germany] : Wiley-VCH, c2004.
Fiziksel Tanımlama
:
1 online resource (xii, 427 p.) : ill.
Seri
:
Advanced micro & nanosystems ; v. 1
Seri Başlığı
:
Advanced micro & nanosystems ; v. 1
Konu Terimleri
:
Microelectromechanical systems.
Microelectronics.
Nanotechnology.
Yazar Ek Girişi
:
Baltes, H. (Henry)
Tüzel Kişi Ek Girişi
:
Wiley InterScience (Online service)
Elektronik Erişim
:
| Kütüphane | Materyal Türü | Demirbaş Numarası | Yer Numarası | [[missing key: search.ChildField.HOLDING]] | Durumu/İade Tarihi |
|---|
| Çevrimiçi Kütüphane | E-Kitap | 302266-1001 | ONLINE | | Elektronik Kütüphane |