Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication
tarafından
 
Mack, Chris A.

Başlık
: 
Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication

Yazar
: 
Mack, Chris A.

ISBN
: 
9780470723876

Yayın Bilgileri
: 
Hoboken, N.J. : Wiley ; Chichester : John Wiley [distributor], 2007.

Fiziksel Tanımlama
: 
p. cm.

Konu Terimleri
: 
Integrated circuits -- Design and construction.
 
Microlithography -- Industrial applications.

Tüzel Kişi Ek Girişi
: 
Wiley InterScience (Online service)

Elektronik Erişim
: 
John Wiley http://dx.doi.org/10.1002/9780470723876


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap302632-1001ONLINEElektronik Kütüphane