Micro process engineering fundamentals, devices, fabrication, and applications
tarafından
 
Kockmann, Norbert.

Başlık
: 
Micro process engineering fundamentals, devices, fabrication, and applications

Yazar
: 
Kockmann, Norbert.

ISBN
: 
9783527616961
 
9783527616749

Yayın Bilgileri
: 
Weinheim : Wiley-VCH ; [Chichester : John Wiley [distributor]], c2006.

Fiziksel Tanımlama
: 
1 online resource (xxii, 507 p.) : ill.

Seri
: 
Advanced micro & nanosystems ; 5

Seri Başlığı
: 
Advanced micro & nanosystems ; 5

Konu Terimleri
: 
Production engineering.
 
Microtechnology.

Yazar Ek Girişi
: 
Kockmann, Norbert.

Elektronik Erişim
: 
John Wiley http://dx.doi.org/10.1002/9783527616749
 
Contributor biographical information http://catdir.loc.gov/catdir/enhancements/fy0645/2006296404-b.html


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap303539-1001ONLINEElektronik Kütüphane