Reliability of MEMS
tarafından
 
Tsuchiya, Toshiyuki.

Başlık
: 
Reliability of MEMS

Yazar
: 
Tsuchiya, Toshiyuki.

ISBN
: 
9783527622139
 
9783527622566

Yayın Bilgileri
: 
Weinheim : Wiley-VCH, c2008.

Fiziksel Tanımlama
: 
1 online resource (xx, 303 p.) : ill.

Seri
: 
Advanced micro & nanosystems ; v. 6

Seri Başlığı
: 
Advanced micro & nanosystems ; v. 6

Konu Terimleri
: 
Microelectromechanical systems -- Reliability.

Yazar Ek Girişi
: 
Tsuchiya, Toshiyuki.
 
Tabata, Osamu, 1956-

Tüzel Kişi Ek Girişi
: 
Wiley InterScience (Online service)

Elektronik Erişim
: 
John Wiley http://dx.doi.org/10.1002/9783527622139
 
MyiLibrary, Table of contents http://www.myilibrary.com?id=194693&ref=toc
 
Contributor biographical information http://catdir.loc.gov/catdir/enhancements/fy0838/2008459617-b.html


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap303632-1001ONLINEElektronik Kütüphane