LIGA and its applications
tarafından
 
Saile, Volker.

Başlık
: 
LIGA and its applications

Yazar
: 
Saile, Volker.

ISBN
: 
9783527622573

Yayın Bilgileri
: 
Weinheim : Wiley-VCH ; [Chichester : John Wiley, distributor], c2009.

Fiziksel Tanımlama
: 
x, 479 p. : ill. ; 25 cm.

Seri
: 
Advanced micro & nanosystems ; 7

Seri Başlığı
: 
Advanced micro & nanosystems ; 7

Konu Terimleri
: 
Microelectromechanical systems.
 
Microtechnology.

Yazar Ek Girişi
: 
Saile, Volker.

Tüzel Kişi Ek Girişi
: 
Wiley InterScience (Online service)

Elektronik Erişim
: 
John Wiley http://dx.doi.org/10.1002/9783527622573


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap303649-1001ONLINEElektronik Kütüphane