Introduction to microfabrication
tarafından
Franssila, Sami.
Başlık
:
Introduction to microfabrication
Yazar
:
Franssila, Sami.
ISBN
:
9781119990413
9780470666722
Basım Bilgisi
:
2nd ed.
Yayın Bilgileri
:
Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ : John Wiley & Sons, 2010.
Fiziksel Tanımlama
:
1 online resource (xiv, 518 p.) : ill.
Konu Terimleri
:
Microelectromechanical systems.
Electronic apparatus and appliances.
Microfabrication.
Tür
:
Electronic books.
Elektronik Erişim
:
| Kütüphane | Materyal Türü | Demirbaş Numarası | Yer Numarası | [[missing key: search.ChildField.HOLDING]] | Durumu/İade Tarihi |
|---|
| Çevrimiçi Kütüphane | E-Kitap | 304139-1001 | ONLINE | | Elektronik Kütüphane |