Materials and Processes for Next Generation Lithography.
tarafından
 
Robinson, Alex, editor.

Başlık
: 
Materials and Processes for Next Generation Lithography.

Yazar
: 
Robinson, Alex, editor.

ISBN
: 
9780081003589

Yayın Bilgileri
: 
Amsterdam, Netherlands : Elsevier, 2016.

Fiziksel Tanımlama
: 
1 online resource

Seri
: 
Frontiers of nanoscience, v. 11
 
Frontiers of nanoscience ; v. 11.

Konu Terimleri
: 
Microlithography.
 
Photoresists.

Yazar Ek Girişi
: 
Robinson, Alex,
 
Lawson, Richard,

Elektronik Erişim
: 
ScienceDirect https://www.sciencedirect.com/science/bookseries/18762778/11


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap459226-1001ONLINEElektronik Kütüphane