Handbook of silicon wafer cleaning technology
tarafından
 
Reinhardt, Karen A., editor.

Başlık
: 
Handbook of silicon wafer cleaning technology

Yazar
: 
Reinhardt, Karen A., editor.

ISBN
: 
9780323510851
 
9780323510844

Basım Bilgisi
: 
Third edition.

Fiziksel Tanımlama
: 
1 online resource

Seri
: 
Materials science & process technology series
 
Materials science and process technology series.

Konu Terimleri
: 
Silicon-on-insulator technology.

Yazar Ek Girişi
: 
Reinhardt, Karen A.,
 
Kern, Werner, 1925-

Elektronik Erişim
: 
ScienceDirect https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323510844


KütüphaneMateryal TürüDemirbaş NumarasıYer Numarası[[missing key: search.ChildField.HOLDING]]Durumu/İade Tarihi
Çevrimiçi KütüphaneE-Kitap460022-1001ONLINEElektronik Kütüphane