Micro and Nano Fabrication Tools and Processes
tarafından
Gatzen, Hans H. author.
Başlık
:
Micro and Nano Fabrication Tools and Processes
Yazar
:
Gatzen, Hans H. author.
ISBN
:
9783662443958
Basım Bilgisi
:
1st ed. 2015.
Fiziksel Tanımlama
:
XXVI, 519 p. 357 illus., 54 illus. in color. online resource.
İçerik
:
Introduction-MEMS, a Historical Perspective -- Vacuum Technology -- Deposition Technologies -- Etching Technologies -- Doping and Surface Modification -- Lithography -- LIGA -- Nanofabrication by Self-Assembly -- Enabling Technologies I - Wafer Planarization and Bonding -- Enabling Technologies II - Contamination Control -- Device Fabrication - An Example.
Konu Terimleri
:
Microtechnology.
Microelectromechanical systems.
Manufactures.
Microsystems and MEMS.
Machines, Tools, Processes.
Yazar Ek Girişi
:
Saile, Volker.
Leuthold, Jürg.
Tüzel Kişi Ek Girişi
:
SpringerLink (Online service)
Elektronik Erişim
:
| Kütüphane | Materyal Türü | Demirbaş Numarası | Yer Numarası | [[missing key: search.ChildField.HOLDING]] | Durumu/İade Tarihi |
|---|
| Çevrimiçi Kütüphane | E-Kitap | 530075-1001 | ONLINE | | Elektronik Kütüphane |