
Başlık:
Green etching techniques for MEMS applications : sustainable, fluorine-free etching methods for micro-electro-mechanical systems
Yazar:
Wang, Kaiying, author.
ISBN:
9781040767054
9781003674795
9781040766941
Fiziksel Tanımlama:
1 online resource (168 pages) : illustrations (black and white)
Elektronik Erişim:
Taylor & Francis https://www.taylorfrancis.com/books/9781003674795OCLC metadata license agreement http://www.oclc.org/content/dam/oclc/forms/terms/vbrl-201703.pdf
Kopya:
Rafta:*
Kütüphane | Materyal Türü | Demirbaş Numarası | Yer Numarası | Durumu/İade Tarihi | Materyal Ayırtma |
|---|---|---|---|---|---|
Arıyor... | E-Kitap | 582414-1001 | TK7875 | Arıyor... | Arıyor... |
