Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication

Başlık:

Yazar:

Mack, Chris A.

ISBN:

9780470723876

Yayın Bilgileri:

Hoboken, N.J. : Wiley ; Chichester : John Wiley [distributor], 2007.

Fiziksel Tanımlama:

p. cm.

Konu Terimleri:

Tüzel Kişi Ek Girişi:

Elektronik Erişim:

Ayırtma:
Kopya:

Kütüphane	Materyal Türü	Demirbaş Numarası	Yer Numarası	Durumu/İade Tarihi	Materyal Ayırtma
Arıyor... Çevrimiçi Kütüphane	E-Kitap	302632-1001	ONLINE	Arıyor... Unknown	Arıyor... Rafta