Başlık:
Dry etching for microelectronics
Yazar:
Powell, Ronald A.
ISBN:
9780444869050
Yayın Bilgileri:
Amsterdam ; New York : North-Holland Physics Pub. ; New York, N.Y. : Distributors for the USA and Canada, Elsevier Science Pub. Co., 1984.
Fiziksel Tanımlama:
1 online resource (xi, 299 pages) : illustrations.
Seri:
Materials processing--theory and practices ; v. 4
Seri Başlığı:
Materials processing--theory and practices ; v. 4
Yazar Ek Girişi:
Elektronik Erişim:
ScienceDirect http://www.sciencedirect.com/science/book/9780444869050Kopya:
Rafta:*
Kütüphane | Materyal Türü | Demirbaş Numarası | Yer Numarası | Durumu/İade Tarihi | Materyal Ayırtma |
|---|---|---|---|---|---|
Arıyor... | E-Kitap | 256126-1001 | ONLINE | Arıyor... | Arıyor... |