Başlık:
Handbook of VLSI microlithography principles, technology, and applications
Yazar:
Helbert, John N.
ISBN:
9781591242758
9780815514442
9780815517795
Basım Bilgisi:
2nd ed.
Yayın Bilgileri:
Park Ridge, N.J. : Noyes Publications ; Norwich, N.Y. : William Andrew Pub., c2001.
Fiziksel Tanımlama:
1 online resource (xxi, 1001 p.) : ill.
Seri:
Materials science and process technology series. Electronic materials and process technology
Seri Başlığı:
Materials science and process technology series. Electronic materials and process technology
Tür:
Yazar Ek Girişi:
Elektronik Erişim:
ScienceDirect http://www.sciencedirect.com/science/book/9780815514442Kopya:
Rafta:*
Kütüphane | Materyal Türü | Demirbaş Numarası | Yer Numarası | Durumu/İade Tarihi | Materyal Ayırtma |
|---|---|---|---|---|---|
Arıyor... | E-Kitap | 254148-1001 | ONLINE | Arıyor... | Arıyor... |