Microlithography science and technology

Skip to:Content

|

Microlithography science and technology için kapak resmi

Başlık:

Microlithography science and technology

Yazar:

Suzuki, Kazuaki.

ISBN:

9781420051537

Basım Bilgisi:

2nd ed.

Yayın Bilgileri:

Boca Raton : CRC Press, c2007.

Fiziksel Tanımlama:

848 p. : ill.

Seri:

Optical science and engineering ; 126

Seri Başlığı:

Optical science and engineering ; 126

Konu Terimleri:

Microlithography -- Industrial applications.

Integrated circuits -- Masks.

Metal oxide semiconductors, Complementary -- Design and construction.

Manufacturing processes.

Yazar Ek Girişi:

Suzuki, Kazuaki.

Smith, Bruce W., 1959-

Elektronik Erişim:

Distributed by publisher. Purchase or institutional license may be required for access.

Ayırtma:
Kopya:

Rafta:*

Kütüphane	Materyal Türü	Demirbaş Numarası	Yer Numarası	Durumu/İade Tarihi	Materyal Ayırtma
Arıyor... Çevrimiçi Kütüphane	E-Kitap	285967-1001	ONLINE	Arıyor... Unknown	Arıyor... Rafta

On Order

Go to:Top of Page