Micro and Nano Fabrication Tools and Processes için kapak resmi
Başlık:
Micro and Nano Fabrication Tools and Processes
Yazar:
Gatzen, Hans H. author.
ISBN:
9783662443958
Basım Bilgisi:
1st ed. 2015.
Fiziksel Tanımlama:
XXVI, 519 p. 357 illus., 54 illus. in color. online resource.
İçerik:
Introduction-MEMS, a Historical Perspective -- Vacuum Technology -- Deposition Technologies -- Etching Technologies -- Doping and Surface Modification -- Lithography -- LIGA -- Nanofabrication by Self-Assembly -- Enabling Technologies I - Wafer Planarization and Bonding -- Enabling Technologies II - Contamination Control -- Device Fabrication - An Example.
Tüzel Kişi Ek Girişi:
Ayırtma:

Kopya:

Kütüphane
Click to Sort
Materyal Türü
Click to Sort
Demirbaş Numarası
Click to Sort
Yer Numarası
Click to Sort
Durumu/İade Tarihi
Click to Sort
Materyal Ayırtma
Click to Sort
Arıyor...
E-Kitap 530075-1001 ONLINE
Arıyor...