Başlık:
Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
Yazar:
Rai-Choudhury, P.
ISBN:
9780819423788
9780819423795
Yayın Bilgileri:
Bellingham, Wash., USA : SPIE Optical Engineering Press ; London, UK : Institution of Electrical Engineers, c1997.
Fiziksel Tanımlama:
v.
Seri:
IEE materials and devices series ; 12A-12B
IEE materials & devices series ; 12A-12B.
İçerik:
v. 1. Microlithography -- v. 2. Micromachining and microfabrication.
Yazar Ek Girişi:
Kopya:
Rafta:*
Kütüphane | Materyal Türü | Demirbaş Numarası | Yer Numarası | Durumu/İade Tarihi | Materyal Ayırtma |
|---|---|---|---|---|---|
Arıyor... | Kitap | 7.2/18/28964 | TK7836 H3423 1997 V.1 | Arıyor... | Arıyor... |
Arıyor... | Kitap | 7.2/19/22845 | TK7836 H3423 1997 V.2 | Arıyor... | Arıyor... |