Başlık:
Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication
Yazar:
Mack, Chris A.
ISBN:
9780470723876
Yayın Bilgileri:
Hoboken, N.J. : Wiley ; Chichester : John Wiley [distributor], 2007.
Fiziksel Tanımlama:
p. cm.
Tüzel Kişi Ek Girişi:
Elektronik Erişim:
John Wiley http://dx.doi.org/10.1002/9780470723876Kopya:
Rafta:*
Kütüphane | Materyal Türü | Demirbaş Numarası | Yer Numarası | Durumu/İade Tarihi | Materyal Ayırtma |
---|---|---|---|---|---|
Arıyor... | E-Kitap | 302632-1001 | ONLINE | Arıyor... | Arıyor... |