Başlık:
PVD for microelectronics sputter deposition applied to semiconductor manufacturing
Yazar:
Powell, Ronald A.
ISBN:
9780125330268
Yayın Bilgileri:
San Diego : Academic Press, c1999.
Fiziksel Tanımlama:
1 online resource (xiii, 419 p.) : ill.
Seri:
Thin films ; v. 26
Seri Başlığı:
Thin films ; v. 26
Yazar Ek Girişi:
Elektronik Erişim:
ScienceDirect http://www.sciencedirect.com/science/book/9780125330268Kopya:
Rafta:*
Kütüphane | Materyal Türü | Demirbaş Numarası | Yer Numarası | Durumu/İade Tarihi | Materyal Ayırtma |
|---|---|---|---|---|---|
Arıyor... | E-Kitap | 256315-1001 | ONLINE | Arıyor... | Arıyor... |