Başlık:
Chemical mechanical planarization of microelectronic materials
Yazar:
Steigerwald, Joseph M.
ISBN:
9783527617746
Yayın Bilgileri:
New York : J. Wiley, c1997.
Fiziksel Tanımlama:
xiii, 324 p. : ill. ; 24 cm.
Tüzel Kişi Ek Girişi:
Elektronik Erişim:
John Wiley http://dx.doi.org/10.1002/9783527617746Contributor biographical information http://catdir.loc.gov/catdir/bios/wiley041/96006198.html
Kopya:
Rafta:*
Kütüphane | Materyal Türü | Demirbaş Numarası | Yer Numarası | Durumu/İade Tarihi | Materyal Ayırtma |
|---|---|---|---|---|---|
Arıyor... | E-Kitap | 300816-1001 | ONLINE | Arıyor... | Arıyor... |