Microlithography science and technology için kapak resmi
Başlık:
Microlithography science and technology
Yazar:
Suzuki, Kazuaki.
ISBN:
9781420051537
Basım Bilgisi:
2nd ed.
Yayın Bilgileri:
Boca Raton : CRC Press, c2007.
Fiziksel Tanımlama:
848 p. : ill.
Seri:
Optical science and engineering ; 126
Seri Başlığı:
Optical science and engineering ; 126
Konu Terimleri:
Microlithography -- Industrial applications.

Integrated circuits -- Masks.

Metal oxide semiconductors, Complementary -- Design and construction.

Manufacturing processes.
Yazar Ek Girişi:
Suzuki, Kazuaki.

Smith, Bruce W., 1959-
Elektronik Erişim:
Distributed by publisher. Purchase or institutional license may be required for access.
Ayırtma:
Kopya:

Rafta:*

Kütüphane
Materyal Türü
Demirbaş Numarası
Yer Numarası
Durumu/İade Tarihi
Materyal Ayırtma
Arıyor...
 E-Kitap 285967-1001 ONLINE
Arıyor...

On Order